1、是一種無接觸方式，可在空氣中進行并且在清洗后不必進行干燥。

2、可清除物體表面的碳和有機污染物。

3、沒有溶劑揮發及廢棄溶劑的處理問題。

4、保證產品的高可靠性和高成品率。

5、產品表面清洗處理的均勻度一致。

6、由于光清洗是通過光敏、氧化反應去除物體表面的碳和有機化合物，所以容易發生氧化的表面不宜用光清洗方法，只適對表面污垢清洗、不適對污垢量較多的無機類污垢清洗。

紫外臭氧清洗機應用在生活中的作用：

1、在半導體生產中，硅晶片涂保護膜、鋁蒸發膜前進行光清洗，可以提高粘合力，防止針孔、裂縫的發生。

2、光學玻璃經過紫外光清洗后，鍍膜質量更好。